KLA—Tencor推出达到45nm晶片几何度量要求的解决方案

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KLA—Tencor公司目前推出了WaferSight 2,这是半导体行业中第1个让晶片供应商和芯片制造商能够以45am及更小尺寸所要求的高精度和工具匹配度,在单一系统中度量裸晶片平面度、形状、卷边及纳米形貌的度量系统。凭借业界领先的平面度和纳米形貌测量精度,加之更高的工具到工具匹配度,WaferSight 2让晶片供应商能够率先生产下一代晶片,并让集成电路(IC)制造商对未来晶片质量的控制能力更具信心。
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