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简单介绍了掺TiO_2的SnO_2薄膜丙酮气敏元件的制作,重点分析不同的掺杂溅射镀膜时间、不同加热电压对灵敏度的影响。对不同有机蒸气进行选择性测试,发现掺TiO_2的SnO_2薄膜气体传感器对丙酮有很高的灵敏度,而且输出信号与丙酮气体浓度成正比,浓度低至100ppm也可检测试出来。测定了元件的工作温度与加热电压的关系,发现加热电压为6~7V,相当于元件的工作温度为250~300oC时,对不同气体的灵敏度都很高。