论文部分内容阅读
本文阐述了化学增强型抗蚀剂（CAR）到抗反射涂层（ARC）,远紫外（DUV）光刻技术需要特殊的温度条件以及一些解决措施。对抗蚀剂处理设备温度性能的技术进行监控及分析;同时说明了检查测试热循环过程中实际的圆片热测量和掩模温度的现场监控。
探讨技术领域中温度控制方案
【摘 要】
：
本文阐述了化学增强型抗蚀剂（CAR）到抗反射涂层（ARC）,远紫外（DUV）光刻技术需要特殊的温度条件以及一些解决措施。对抗蚀剂处理设备温度性能的技术进行监控及分析;同时说明了检查测
【机 构】
：
广东省计量科学研究东莞分院
【出 处】
：
科技资讯
【发表日期】
：
2011年17期
其他文献
结合马来西亚吉隆坡安邦轻轨延伸线项目，详细介绍一种无枕式整体道床长钢轨直铺法施工的新技术，包括施工工艺流程、施工配套机具以及施工质量验收标准。无枕式整体道床配合长钢
数学理论的价值是数学与人的主体需要之间的关系,数学能满足人的多方面的需要,具有多方面的价值,例如经济价值、政治价值和精神价值;对数学理论的价值评价是人们对数学理论的
高职艺术设计专业实训基地的建设直接影响着应用型人才的培养，随着社会对实用性人才需求量的不断增大，实训基地的建设成了实践教学体系中不可缺少的重要环节。通过对实训基地的
知识表示是专家系统建造中的一个关键环节 ,知识表示方法的好坏直接关系到系统的智能水平和解决问题的能力。在地震预报专家系统ESEP 3 0中有多种知识表示方法 ,本文介绍了该系统的结构知识、地震学和前兆预报知识、机器学习知识、综合预报知识、确定异常证据可信度知识以及支持知识等多种知识表示方法 ,提出了确定异常证据可信度模型。这些知识表示方法可以很好地表示各类地震预报知识
宁强县由于其独特的地理位置,矿产资源丰富,共有8类31种金属与非金属矿产,总蕴藏量高达3.09亿t,位居汉中市第二。其中鸡头山—小燕子沟地区矿产资源丰富,成矿条件优越。以鸡
在不分明化拓扑空间中，给出了人们广为关注的拓扑学中的θ闭包的概念，并由此军政府了θ－开集，θ－闭集，θ－连续映射和强θ－连续映射，使用逻辑的语议的方法讨论了他们的有关性质，在不分明
基于以太环网的安全监测系统给地方煤矿的安全监测系统发展提供一个平台，将多个相距较近的矿井合并采用一套基于以太环网的安全监测系统．再聘用专业人员统一进行管理，从而充分发
隧道衬砌缺陷致害研究是当前热点,对衬砌病害产生原因进行探析对隧道施工及设计来说尤为重要。通过结合相关资料、建立FLAC2D二维模型对某隧道出现的拱腰拉裂、拱顶压溃病害