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本文报道了一种厚膜型ＺｒＯ＿２氧敏元件的制备工艺，研究了该元件的氧敏特性及稳定性．实验发现，该工艺制备的氧敏元件，对氧气具有较高的灵敏度和很好的选择性，且比较稳定．
厚膜ZrO2氧敏元件的制备及特性研究
【摘 要】
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本文报道了一种厚膜型ＺｒＯ＿２氧敏元件的制备工艺，研究了该元件的氧敏特性及稳定性．实验发现，该工艺制备的氧敏元件，对氧气具有较高的灵敏度和很好的选择性，且比较稳定．
【出 处】
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内蒙古大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年3期
【基金项目】
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内蒙古自然科学基金
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