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介绍了化学机械抛光液的研究进展和抛光原理,分析了化学机械抛光过程中抛光液的重要作用,阐述了配制化学机械抛光液的两种方法,分析了影响铈基抛光液和硅基抛光液抛光性能的诸多因素。最后指出了抛光液回收再利用的重要性和可行性。
铈基、硅基半导体抛光液的发展概况
【摘 要】
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介绍了化学机械抛光液的研究进展和抛光原理,分析了化学机械抛光过程中抛光液的重要作用,阐述了配制化学机械抛光液的两种方法,分析了影响铈基抛光液和硅基抛光液抛光性能的
【机 构】
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内蒙古科技大学材料与冶金工程学院,包头稀土研究院,内蒙古工业大学材料科学与工程学院,
【出 处】
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稀土
【发表日期】
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2013年02期
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