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用真空双源地制备Ｙｔｔｒｉａ－＝ｓｔａｂｉｌｉｚｅｄｚｉｒｃｏｎｉａ（ＹＳＺ）薄膜，研究了ＹＳＺ薄膜制备工艺对形貌、特性的影响，实验发现，在６００℃的条件下进行热处理，可形成超微晶薄膜，且晶粒细密均匀。
YSZ薄膜的制备及特性研究
【摘 要】
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用真空双源地制备Ｙｔｔｒｉａ－＝ｓｔａｂｉｌｉｚｅｄｚｉｒｃｏｎｉａ（ＹＳＺ）薄膜，研究了ＹＳＺ薄膜制备工艺对形貌、特性的影响，实验发现，在６００℃的条件下进行热处理，可形成超微晶薄膜，且晶粒细密均匀。
【机 构】
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内蒙古大学物理学系
【出 处】
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内蒙古大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1999年5期
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