用真空双源地制备Ｙｔｔｒｉａ－＝ｓｔａｂｉｌｉｚｅｄｚｉｒｃｏｎｉａ（ＹＳＺ）薄膜，研究了ＹＳＺ薄膜制备工艺对形貌、特性的影响，实验发现，在６００℃的条件下进行热处理，可形成超微晶薄膜，且晶粒细密均匀。......