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提出了一种用于压力传感器的温度漂移补偿新方法。该压力传感器中包含了两个灵敏度不同的敏感电桥，它们被制作于同一芯片不同厚度的膜片上。所采用的一种电阻设置新形式，可有效节省芯片面积。通过双桥间的互补，同时消除了压力传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移。文中给出了温度漂移补偿的具体算法及相应的实验结果。
压力传感器温度漂移补偿的一种新方法
【摘 要】
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提出了一种用于压力传感器的温度漂移补偿新方法。该压力传感器中包含了两个灵敏度不同的敏感电桥，它们被制作于同一芯片不同厚度的膜片上。所采用的一种电阻设置新形式，可有效
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1996年6期
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