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锗具有较高的红外吸收系数，不过，当通过将锗直接沉积在硅上的办法制作锗光电探测器时，由于锗与硅的晶格失配率为4％，光电探测器会具有较大的暗电流。为了解决这个问题，最近几年人们做了大量工作。
用于CMOS成像仪的锗红外传感器
【摘 要】
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锗具有较高的红外吸收系数，不过，当通过将锗直接沉积在硅上的办法制作锗光电探测器时，由于锗与硅的晶格失配率为4％，光电探测器会具有较大的暗电流。为了解决这个问题，最近几年人们
【出 处】
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红外
【发表日期】
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2008年7期
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