Si^＋和S^＋注入SI—GaAs白光快速退火特性

来源 :北京师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：A578964735

【摘要】

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研究了 Si~+和 S~+注入 SI-GaAs 经白光瞬态退火后的电特性,得出最佳的退火条件为930～960℃,5s.在适当的注入和退火条件下,得到了陡峭的载流子剖面分布没有拖长的尾巴.发现Si~

【作者】

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李国辉朱德华

【机构】

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北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所

【出处】

：

北京师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

1990年4期

【关键词】

：

离子注入 Si^+ S^+ GAAS 快速退华 Si~+ S~+ implanted into GaAs light rapid thermal annea

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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研究了 Si~+和 S~+注入 SI-GaAs 经白光瞬态退火后的电特性,得出最佳的退火条件为930～960℃,5s.在适当的注入和退火条件下,得到了陡峭的载流子剖面分布没有拖长的尾巴.发现Si~+注入白光快速退火样品比常规热退火样品有较好的电特性.使用 Si~+注入白光快速退火制作出了性能良好的全离子注入平面型 MESFET.

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