单片机和脉宽调制控制的斜坡高压电源的研制

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提出了静电键合中渐近加压的思想,并研制成功了用单片机控制,以脉宽调制(PWM)技术为基础的渐近加压的斜坡高压电源。实践证明,使用该电源进行静电键合能显著改善静电键合的质量,从而大大提高静电键合的合格率。
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