【摘 要】
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通过实验研究了YAG激光切割单晶硅的工艺,分析了激光功率、切割速度、辅助气体以及焦点位置对最终切割质量的影响,并对存在的问题提出了改进的建议及方法,为实际应用中参数设置
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通过实验研究了YAG激光切割单晶硅的工艺,分析了激光功率、切割速度、辅助气体以及焦点位置对最终切割质量的影响,并对存在的问题提出了改进的建议及方法,为实际应用中参数设置和工艺改进提供了参考,使激光切割工序取得良好的效果。
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