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通过实验研究了YAG激光切割单晶硅的工艺，分析了激光功率、切割速度、辅助气体以及焦点位置对最终切割质量的影响，并对存在的问题提出了改进的建议及方法，为实际应用中参数设置和工艺改进提供了参考，使激光切割工序取得良好的效果。
YAG激光切割单晶硅的工艺研究
【摘 要】
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通过实验研究了YAG激光切割单晶硅的工艺，分析了激光功率、切割速度、辅助气体以及焦点位置对最终切割质量的影响，并对存在的问题提出了改进的建议及方法，为实际应用中参数设置
【机 构】
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株洲南车时代电气股份有限公司
【出 处】
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大功率变流技术
【发表日期】
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2010年3期
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