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EFFECT OF HEAT TREATMENT TEMPERATURE ON MICROSTRUCTURE AND PROPERTIES OF Ti-B-N FILM
EFFECT OF HEAT TREATMENT TEMPERATURE ON MICROSTRUCTURE AND PROPERTIES OF Ti-B-N FILM
来源 :Transactions of Nonferrous Metals Society of China | 被引量 : 0次 | 上传用户:lwgalj2005
【摘 要】
:
1INTRODUCTIONTiNfilmspreparedbymeansofphysicalvapourdeposition(PVD)orchemicalvapourdeposition(CVD)arewidelyusedontoolsforth...
【出 处】
:
Transactions of Nonferrous Metals Society of China
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
HEAT
TREATMENT
TI
B
N
FILM
SLICE
structure
heat treatmentTiBN filmslice structur
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1INTRODUCTIONTiNfilmspreparedbymeansofphysicalvapourdeposition(PVD)orchemicalvapourdeposition(CVD)arewidelyusedontoolsforth...
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