【摘 要】
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为了准确地测量透射平行平板，提出了基于最小二乘迭代的多表面干涉条纹分析方法。依据波长调谐相移的原理,通过最小二乘迭代准确地求得每组双表面干涉条纹的实际相移值，从而准
【基金项目】
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中国工程物理研究院人才基金（zx0104）资助课题.
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为了准确地测量透射平行平板，提出了基于最小二乘迭代的多表面干涉条纹分析方法。依据波长调谐相移的原理,通过最小二乘迭代准确地求得每组双表面干涉条纹的实际相移值，从而准确地提取平板前后表面面形及厚度变化等信息。模拟计算结果表明，当相移值有微小偏差（小于0．2rad）时，通过10次迭代后求得相位的峰值（PV）误差为0．005rad，均方根（RMS）误差为0．002rad，而相应Okada算法的PV误差为0．512rad，RMS误差为0．103rad。实验结果验证了该算法的有效性。
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