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期刊论文
新型硅基气体传感器
新型硅基气体传感器
来源 :现代科技译丛(哈尔滨) | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangpei999
【摘 要】
:
一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世,与现有技术相比,可提高敏感性,降低电力需求和成本,还可用于环境探测、食品和生物医学应用中的重要气体化合物.
【作 者】
:
王洪涛
【出 处】
:
现代科技译丛(哈尔滨)
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
硅基气体传感器
多孔硅
无电加工技术
制造
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一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世,与现有技术相比,可提高敏感性,降低电力需求和成本,还可用于环境探测、食品和生物医学应用中的重要气体化合物.
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