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新型硅基气体传感器
一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世,与现有技术相比,可提高敏感性,降低电力需求和成本,还可用于环境探测、食品和生......
期刊
硅基气体传感器
多孔硅
无电加工技术
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