玻璃与GaAs外延片热压粘结工艺研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxjln

【摘要】

：

本文报道制备ＧａＡｓ透射式光阴极过程中窗玻璃与大面积ＧａＡｓ外延片热压粘结工艺的原理和过程，并重点分析抗反射膜的淀积、粘结温度控制和压力大小对粘结结果的影响。

【作者】

：

赛小峰张书明高鸿楷侯洵

【机构】

：

西安光学精密机械研究所半导体室

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

1996年2期

【关键词】

：

热压粘结玻璃 GaAs外延片 Thermocompression bondingWindow-glassGaAs epitaxial plate

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