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用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜.测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值.实验结果表明,常规金刚石薄膜的电导率、损耗角正切值均小于纳米金刚石薄膜,介电性能比较理想.两种薄膜的介电常数基本相同,损耗角正切值在105Hz处都有弛豫极大值,表明在该频率范围内,主要为弛豫损耗机制.电导率和损耗的大小可能与晶界处缺陷和非金刚石相的多少有关.