Surface Polishing of 6H-SiC Substrates

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tiancai9550

【摘要】

：

为硅碳化物擦亮的表面(原文如此)底层被调查 andresults 为机械擦亮被介绍( MP )并且chemo机械的擦亮( CMP ) .High qualitysurfaces 在 CMP 期间在物理的 MP anddetailed

【作者】

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Xiufang CHEN Xiangang XU Juan

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofCrystalMaterials

【出处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

6H-SIC 衬底表面抛光化学-机械抛光碳化硅 SiC Chemo-mechanical polishing （CMP） Roughness Subsur

【基金项目】

：

AcknowledgementThis work is supported by the National Natural Science Foundation of China （Grant No. 60025409 and No. 50472068）. It is also supported by the National High-Tech Research and Development

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为硅碳化物擦亮的表面(原文如此)底层被调查 andresults 为机械擦亮被介绍( MP )并且chemo机械的擦亮( CMP ) .High qualitysurfaces 在 CMP 期间在物理的 MP anddetailed 和化学过程与擦伤的胶体的 silica.The 移动机制在 CMP 以后被获得是 MP 和 CMP 的 analyzed.The 效果在 thesurface 上，粗糙被光显微镜学( OM )估计，原子力量显微镜学( AFM )和高分辨率 X

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