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伴随着国内半导体行业的飞速发展,相应的制造工艺提升,对于气体的纯度要求也相应提高,从以往的7N提升到9N纯度,即单项杂质要求脱除至1ppb以下.大连华邦化学有限公司生产的9N级气体纯化器经过多年研发,采用新型专业的纯化材料,脱除深度高,能够满足客户需求,目前已经成功应用于国内多家半导体厂.
一种新型国产9N级氩气纯化器在半导体行业中的应用
【摘 要】
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伴随着国内半导体行业的飞速发展,相应的制造工艺提升,对于气体的纯度要求也相应提高,从以往的7N提升到9N纯度,即单项杂质要求脱除至1ppb以下.大连华邦化学有限公司生产的9N
【机 构】
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大连华邦化学有限公司,辽宁 大连,116000
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2019年32期
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