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在大气环境中用ＳＴＭ进行纳米级超微加工，以高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）和金薄膜作为样品，通过在ＳＴＭ探针和样品之间施加一定的脉冲电压制造出了尺度在纳米量级的结构，还对所形成的结构特征进行了分析，总结出部分规律。
利用扫描隧道显微镜制造纳米级结构
【摘 要】
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在大气环境中用ＳＴＭ进行纳米级超微加工，以高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）和金薄膜作为样品，通过在ＳＴＭ探针和样品之间施加一定的脉冲电压制造出了尺度在纳米量级的结构，还对所形成的结构特征进行了分析
【机 构】
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天津大学精密仪器及光电子工程学院
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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天津市21世纪青年科学基金，国家教委博士点基金
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