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期刊论文
几种新型集成硅微(型)传感器系统
几种新型集成硅微(型)传感器系统
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:playallprogram
【摘 要】
:
介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的
【作 者】
:
温志渝
费龙
【机 构】
:
重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
微机械技术
微型
传感器系统
集成光学
硅
Micro-mechanical technology
Micro-sensor system
Micro-mach
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺。
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