高温退火时NTDFZSi中产生的过剩载流子

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为了消除辐射损伤,获得准确的目标电阻率,中子嬗变掺杂区熔硅通常采用750 ̄850℃-2h的退火工艺,实践中发现,采用上述工艺退火后的NTDFZSi在大于1150℃-5h退火时,会出现电阻率下降的现象,下降幅度在10% ̄30%左右,不中照的FZSi则没有观察到这种现象,这表明,在1150℃以上长时间退火时,NTDFZSi中产生了过剩载流子。本文研究了这种现象产生的机理及其与辐照通量和原始晶体质量的关
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