【摘 要】
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●目前国内企业生产的硅片主要以直径4-6英寸抛光片为主,8英寸抛光片尚不能实现大批量生产,12英寸抛光片更是只能在实验室制造,远不能满足国内集成电路企业需求。我国硅抛光
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●目前国内企业生产的硅片主要以直径4-6英寸抛光片为主,8英寸抛光片尚不能实现大批量生产,12英寸抛光片更是只能在实验室制造,远不能满足国内集成电路企业需求。我国硅抛光片无论从质量还是数量上来看,与国际先进水平还存在很大的差距。
● At present, the silicon wafers mainly produced by domestic enterprises are mainly 4-6 “diameter diaphragms. The 8” diaphragms can not yet be mass-produced yet. The 12-inch wafers are only manufactured in laboratories and can not meet the requirements of domestic integrated circuits Business needs. China’s silicon polishing film in terms of quality or quantity point of view, there is still a big gap with the international advanced level.
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