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本文通过分析A面（11-20）ZnO薄膜的低温PL（光致发光）光谱偏振特性来研究ZnO光致发光谱中杂质峰的来源。低温（4 K）下观察到476、479 nm两处新的杂质峰以及390 nm处激子峰,根据两个杂质峰的偏振特性,初步判定476nm峰来源于氧空位能级到价带轻空穴的跃迁,479 nm峰来源于氧空位价带重空穴的跃迁。