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球形和圆柱形系统内分子流场分布的对比研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuesiyi

【摘 要】

：

本文利用蒙特卡罗方法模拟了球形和柱形系统中分子流场的分布,给出了分布曲线。认为用柱形系统代替球形系统进行校准或测量时,若要求系统误差较小,有效测量区为柱形系统赤道

【作 者】

：

李旺奎 董长昆 

【机 构】

：

兰州物理研究所,兰州物理研究所

【出 处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1991年1期

【关键词】

：

测量系统 流场分布 动态流量 测量区 余弦定律 蒙特卡罗方法 测试带 圆柱形 分子流 流导 

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本文利用蒙特卡罗方法模拟了球形和柱形系统中分子流场的分布,给出了分布曲线。认为用柱形系统代替球形系统进行校准或测量时,若要求系统误差较小,有效测量区为柱形系统赤道附近、高约为柱高1/5的区域。通过对动态流量法测量系统的分析,得出采用测流量法比前级测压强法带来的系统误差要小的结论。对将公式P=Q/C₂和P=C₁P₁/（C₁+C

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