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由于采用辅助外加热式离子轰击，减少了放电对放电工件形状，位置的影响，与单纯靠离子轰击放电加热时的放电电流及电压加以比较得出取其优点所在。
辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响
【摘 要】
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由于采用辅助外加热式离子轰击，减少了放电对放电工件形状，位置的影响，与单纯靠离子轰击放电加热时的放电电流及电压加以比较得出取其优点所在。
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1997年3期
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