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辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响
辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzy705664916
【摘 要】
:
由于采用辅助外加热式离子轰击,减少了放电对放电工件形状,位置的影响,与单纯靠离子轰击放电加热时的放电电流及电压加以比较得出取其优点所在。
【作 者】
:
谢雁
赵程
【机 构】
:
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
等离子体
沉积
辅助加热
Plasma
Deposition
Auxiliary heating
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由于采用辅助外加热式离子轰击,减少了放电对放电工件形状,位置的影响,与单纯靠离子轰击放电加热时的放电电流及电压加以比较得出取其优点所在。
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