【摘 要】
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作为集成电路生产中的光刻工艺——照相制版工艺包括几个工艺,在各工艺中,使用以各工艺的处理为目的专用设备。比如:硅片涂胶工艺、涂胶后的坚膜工艺及光刻工艺等主要工艺,
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