【摘 要】
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本文叙述了快速进入10~(-9)Pa的超高真空机组的关键措施,描述了该机组的结构设计特点,新颖的表面处理工艺技术,以及独特的排气规范。该机组从大气开始抽气,经烘烤去气,总共历
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所
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本文叙述了快速进入10~(-9)Pa的超高真空机组的关键措施,描述了该机组的结构设计特点,新颖的表面处理工艺技术,以及独特的排气规范。该机组从大气开始抽气,经烘烤去气,总共历经20小时便可达到(4～7)×10~(-9)Pa的真空度。
This paper describes the key measures to quickly enter the 10 ~ (-9) Pa ultrahigh vacuum unit, describes the structural design features of the unit, the novel surface treatment technology, and the unique exhaust specification. The unit began to smoke from the atmosphere, the baking to the gas, after a total of 20 hours to reach (4 ~ 7) × 10 ~ (-9) Pa vacuum degree.
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