Moore & Wright MICRO 2000电子千分尺

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一、测量系统经过分析不同的测量系统(如直线差动变压器、直线电位计等),莫尔条纹技术似乎是有关电子千分尺中拟采用的测量系统中仅有的既能满足准确度,又能满足量程要求的一种测量系统。从信号处理观点来看,最简单的方法是用栅距为4微米的细光栅产生正弦信号,用一个感受系统产生两个相差90°的正弦波。这样这些能辨别方向的正弦波就可用电子方法细分为1微米的分辨率。从光栅观点看,制造技术上的困难似乎是难以克服的。另一个可供选择的方案是采用较粗的光栅,复杂的感受器和电子处理系统。最后决定制造一个尽可能紧凑 First, the measurement system After the analysis of different measurement systems (such as linear differential transformers, linear potentiometers, etc.), Moiré fringe technology seems to be about the electronic micrometer to be used in the measurement system only to meet the accuracy, but also A measuring system that meets the range requirements. From the signal processing point of view, the easiest way is to generate a sinusoidal signal with a fine grating with a 4-μm pitch and a sine-wave with two different 90 ° angles with one sensing system. So these can identify the direction of the sine wave can be electronically subdivided into 1 micron resolution. From a raster point of view, manufacturing technical difficulties seem insurmountable. Another option is to use thicker gratings, complex susceptors and electronic processing systems. The final decision to create a compact as possible
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