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利用金属氧化理论，从热力学角度分析了ＭｏＳｉ２低温长时间氧化后，表面氧化层中不同相存在的可能性和优先性，并讨论了挥发性ＭｏＯ３相生成的条件。结果表明：４种氧化反应均能在空气中自发进行；从反应进行了难易次序说明了实验中ＭｏＳｉ２材料低温氧化时生成的Ｍｏ８Ｏ２３相衍射峰强较大，而Ｍｏ５Ｓｉ３相峰强较小、且未出现ＭｏＯ３相的原因；指出了Ｍｏ８Ｏ２３转化为挥发性ＭｏＯ３相的氧压条件，从而为避免“ＰＥＳＴ”