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用神经元网络的方法预测了溅射靶材、工艺参数与电阻薄膜性能之间的关系，经预测误差分析以及与实验比较，表明用７９组训练样本可基本准确预报电阻薄膜的性能、对各参数影响薄膜性能的程序也作了分析。
用神经元网络预测靶材与薄膜性能间的关系
【摘 要】
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用神经元网络的方法预测了溅射靶材、工艺参数与电阻薄膜性能之间的关系，经预测误差分析以及与实验比较，表明用７９组训练样本可基本准确预报电阻薄膜的性能、对各参数影响薄膜性能
【机 构】
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上海交通大学国家教委高温材料及高温测试开放实验室
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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1998年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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