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F离子注入新型Al_(0.25)Ga_(0.75)N/GaN HEMT器件耐压分析

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangpingliu

【摘 要】

：

为了缓解AlGaN／GaNhighelectronmobilitytransistors（HEMT）器件n型GaN缓冲层高的泄漏电流，本文提出了具有氟离子注入新型Al0．25Ga0．75N／GaNHEMT器件新结构．首先分析得出n型GaN缓冲层

【作 者】

：

段宝兴 杨银堂 陈敬 

【机 构】

：

西安电子科技大学,香港科技大学电子与计算机工程系

【出 处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2012年22期

【关键词】

：

器件 Al Ga N/GaN HEMT AlGaN/GaN HEMT AlGaN 缓冲层 氟离子 击穿电压 

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为了缓解AlGaN／GaNhighelectronmobilitytransistors（HEMT）器件n型GaN缓冲层高的泄漏电流，本文提出了具有氟离子注入新型Al0．25Ga0．75N／GaNHEMT器件新结构．首先分析得出n型GaN缓冲层没有受主型陷阱时，器件输出特性为欧姆特性，这样就从理论和仿真方面解释了文献生长GaN缓冲层掺杂Fe，Mg等离子的原因．利用器件输出特性分别分析了栅边缘有和没有低掺杂漏极时，氟离子分别注入源区、栅极区域和漏区的情况，得出当氟离子注入源区时，形成的受主型陷阱能有效俘获源

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