【摘 要】
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Thin Ru21Zr64Si15 films deposited on Si substrates by radio frequency reactive magnetron sputtering are studied and evaluated as diffusion barriers for Cu metal
【机 构】
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College of Information and Communication Engineering, Harbin Engineering University, Harbin 150001“,
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Thin Ru21Zr64Si15 films deposited on Si substrates by radio frequency reactive magnetron sputtering are studied and evaluated as diffusion barriers for Cu metallization.Cu/Ru21Zr64Si15/Si and Cu/Zr67Si33/Si structure samples are prepared under the same procedures for comparison.The thermal stability,phase formation,surface morphology and atomic depth profile of the Cu/Ru21Zr64Si15/Si and Cu/Zr67Si33/Si structures before and after annealing at different temperatures are investigated.In conjunction with these analyses,the Cu/Ru21Zr64Si15/Si contact system shows high thermal stability at least up to 650℃.The results obtained reveal that the incorporation of Ru atoms into the Zr67Si33 barrier layer is shown to be beneficial for improving the thermal stability of the Cu/barrier/Si contact system.
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