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根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进行了研究。
硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究
【摘 要】
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根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进
【机 构】
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华南理工大学物理系,华南理工大学物理系广东,广州,510641,广东
【出 处】
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红外研究
【发表日期】
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1990年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助课题
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