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扫描电子显微镜问世以来,各国科学家进行了大量的研究工作以提高其性能,如光源、光学系统的优化和新型探测器的研究等改善了电镜的性能[1-2].利用背反射电子信号进行样品表面的元素成分分析时,因受表面形貌起伏的影响,其信号强度与平均原子序数的对应关系有可能遭到破坏.利用多个探测器及改变各探测器的相对位置并对所获得的信号进行适当的处理可以抑制形貌起伏的不利影响,另外改用Robinson型探测器也可起到类似的作用.