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期刊论文
光CVD-SiO2薄膜的研究
光CVD-SiO2薄膜的研究
来源 :西北电讯工程学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:newyidiyu
【摘 要】
:
本文论述了光化学气相淀积(光CVD)SiO2薄膜的原理及方法。用光CVD技术在50~200℃条件下,在Si、InSb及HgCdTe晶片上淀积了SiO2薄膜。对薄膜的物理性质和化学性质进行了讨论。结果
【作 者】
:
孙建诚
孙青
景俊海
傅俊兴
王玉清
【机 构】
:
西北电讯工程学院微电子研究所,西北电讯工程学院微电子研究所,西北电讯工程学院微电子研究所,西北电讯工程学院微电子研究所,西北电讯工程学院微电子研究所,
【出 处】
:
西北电讯工程学院学报
【发表日期】
:
1988年01期
【关键词】
:
低压汞灯
CVD-SiO2
反应室
淀积速率
HgCdTe
SiO
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本文论述了光化学气相淀积(光CVD)SiO
2
薄膜的原理及方法。用光CVD技术在50~200℃条件下,在Si、InSb及HgCdTe晶片上淀积了SiO
2
薄膜。对薄膜的物理性质和化学性质进行了讨论。结果表明:光CVD技术在半导体低温化工艺中将很有前途。
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