BaCO3基低温共烧陶瓷基板工艺及性能分析

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对用于封装的BaCO3基低温共烧陶瓷基板LTCC材料进行了研究,包括组分配制以及陶瓷制备工艺研究。对烧结后陶瓷的部分热性能以及力学性能进行了测试。结果表明:BaCO3基低温共烧陶瓷较为致密的密度在3.8~4.2g/cm^3,在900℃烧结的陶瓷机械形变较小。
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