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辽宁大学物理系电子科学与技术专业成立于1972年，经过近几十年的发展，现已形成较完整的本科、研究生人才培养体系。本科实行3至6年的弹性学制，授予工学学位。1998年获得“微电子学与固体电子学”硕士学位授予权，到目前共招生近80人，其中40人已获得硕士学位；现正在申报“物理电子学”二级学科硕士点。