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实用化,集成化和多功能化硅传感器的研制与开发
实用化,集成化和多功能化硅传感器的研制与开发
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyqhaha
【摘 要】
:
第五届国际固态传感器与执行器会议于1989年5月26日至30日在瑞士的蒙特洛举行。我国代表团有10多位代表参加会议,东南大学(南工)微电子中心童勤义教授是代表之一。这篇文章是
【作 者】
:
童勤义
【机 构】
:
东南大学(南工)微电子中心
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1989年5期
【关键词】
:
固态传感器
硅传感器
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第五届国际固态传感器与执行器会议于1989年5月26日至30日在瑞士的蒙特洛举行。我国代表团有10多位代表参加会议,东南大学(南工)微电子中心童勤义教授是代表之一。这篇文章是童勤义教授对会议情况作的综合介绍。
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