【摘 要】
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作为电子产业与光伏产业的主要原料,多晶硅拥有着较好的电学、光学及热学性能.由于目前的生产工艺尚不够成熟,其外延产品的需求量有限,在多晶硅生产过程中会产生一定量的氯硅
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作为电子产业与光伏产业的主要原料,多晶硅拥有着较好的电学、光学及热学性能.由于目前的生产工艺尚不够成熟,其外延产品的需求量有限,在多晶硅生产过程中会产生一定量的氯硅烷残液,这种残液中含有如六氯二硅烷等有毒成分,若不进行综合回收利用,不仅会造成资源的浪费,而且会引起严重的环境污染.本文针对氯硅烷残液的处理和资源回收再利用问题进行了探讨,为相关企业提供参考.
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