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详细介绍用聚焦离子束(FIB)微加工连续凹凸平凸折射与衍射微透镜的工艺过程。加工采用两种技术，即聚焦离子束铣和聚焦离子束诱导淀积SiO2。设计并用FIB铣削法加工了两种微透镜阵列，一种是9×9微衍射光学元件(DOEs)阵列，单个元件的f数为2，数值孔径(NA)为0．25；另一种是9×9折射微透镜阵列，单个透镜的直径为60μm，NA为0．1，f数为5。此外，利用FIB诱导淀积SiO2方法加工了微透镜。透镜轮廓和聚焦特性，分别用WYKO NT2000干涉仪和BeamScop-5PTM光传感