灰度掩模相关论文
环形光栅由于它的光谱结构的特殊性，它在光谱分析、光通信、光学信息处理、工业计量、宇宙工程等方面有广泛的应用前景。在国外，环形......
本文工作基于激光直写和各种金属薄膜、复合薄膜、化合物薄膜等受体材料展开。利用激光直写路径可控、操作简单、环境要求低等优势......
近年来，随着纳米科技的飞速发展，人们对于纳米结构的加工技术研究产生了浓厚的兴趣，许多新奇的微纳米加工技术成为了热门的研究探索方......
针对无掩模光刻技术制作微柱透镜阵列的面形精度问题,对曝光方式和掩模设计进行研究,采用一种分模曝光方法,包括图形分层,掩模设计......
提出了基于空间光调制器的灰度掩模制作新方法.分析了该方法的基本原理,构造了相应的实验系统.同时制作了闪耀光栅、菲涅耳透镜以......
针对电寻址空间光调制器制作灰度掩模过程中,精缩透镜的低通滤波特性导致灰度掩模边缘锐度下降的问题,提出了掩模分形技术。对一幅......
讨论了制作适用于近场集成光学头中的凸形、凹形微透镜和折衍射复合微透镜的灰度掩模技术。定性地给出了与几种典型的凸形、凹形微......
灰度掩模法是目前正在积极探索的一种二元光学器件制作方法.从基于空间光调制器的灰度掩模制作方法出发,就"掩模图形的生成"和"工......
针对电寻址空间光调制器制作灰度掩模过程中,精缩透镜的低通滤波特性导致灰度掩模边缘锐度下降的问题,提出了掩模分形技术.对一幅......
论述计算机光学元件制作的方法,着重介绍了灰度掩模技术,反应离子束刻蚀法和激光直写技术,并且说明了其在空间聚焦器上和激光雷达......
文章详细介绍了数字微镜系统总体设计，并进行了实验验证。数字微镜如果结合高质量的高倍精缩投影光学系统，完全可实现亚微米级衍射微......
介绍衍射光学元件的两种制造方法。第一种是模拟直写法。在光学对准仪上用高能束敏玻璃灰度掩模使镀在基片上的模拟光致抗蚀剂曝光......
讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、......
二元光学被誉为“１９９０年代的光学技术”，在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景。衍射光学元件有很多制作方法，比较成熟的有二......
针对利用灰度掩模制作连续微光学元件的方法 ,介绍了从元件结构到灰度图形的转换 ,灰度图形的修正 ,灰度图形的数字化以及图形编码......
图像修复是结合计算机图形学和虚拟现实技术的综合学科,在文物保存与防护、医学图像资料与影视特效这些方面具备许多的使用意义.以......
介绍了制作微光学元件灰度掩模的两种方案,它们分别使用TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)和DMD(数字微镜器件)两种电寻址空间光调制......
根据灰度掩模的制作理论,提出了由PP8000胶片输出仪、远心成像透镜组、平行准直He-Cd激光器构成的精缩投影曝光灰度掩模制作系统.......
灰度掩模法是目前正在积极探索的一种二元光学器件制作方法。从基于空间光调制器的灰度掩模制作方法出发，就“掩模图形的生成”和“......
在JPEG2000图像中,采用灰度掩模方法对多个任意形状感兴趣区域进行标识时,由于其要求掩模的行数和列数和原图像相同,使得掩模的数......
利用磁控溅射方法制备了Zn／Al二元金属薄膜，得出了制备Zn／Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。......
灰度掩模法是一种新的二元光学器件制做方法.研究了并行激光直写高性能灰度掩模的工作原理,对空间光调制器(SML)、精缩投影物镜和......
在基于空间光调制器（SLM）的灰度掩模并行制作方法中，基于曝光曲线的线性近似关系，建立了灰度掩模强度透过率的线性近似模型，给出了灰度......
二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支,是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。二元光学器件,亦称......
设计了一种新型同面相位补偿型等腰闪耀光栅。等腰设计保证了正负衍射级对称分布在光栅法线两侧 ;通过优化设计同面相位补偿槽的大......
二元光学被誉为“1 990年代的光学技术” ,在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景。衍射光学元件有很多制作方法 ,比较......
研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统。利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实......
