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形状记忆合金薄膜以其功密度高、输出力和位移大成为微型机电系统领域最为潜力的微驱动材料之一。研究了丝材冷轧和溅射薄膜工艺，获得了理想的TiNi薄膜，对于溅射工艺，给出了增加射薄膜中Ti含量的一种新途径，并应用原子力显微镜对薄膜进行了微观形貌分析。
用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究
【摘 要】
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形状记忆合金薄膜以其功密度高、输出力和位移大成为微型机电系统领域最为潜力的微驱动材料之一。研究了丝材冷轧和溅射薄膜工艺，获得了理想的TiNi薄膜，对于溅射工艺，给出了增加
【机 构】
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大连理工大学微机电系统研究中心
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 ( E0 5 0 10 70 3)
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