【摘 要】
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本文对氮离子注入的20钢试样进行了透射电子显微术(TEM)分析和X射线衍射分析,发现能量为80keV～100keV、剂量为(1～3)×10~(17)cm~(-2)、束流密度小于7μAcm~(-2)时,注入层发生了
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本文对氮离子注入的20钢试样进行了透射电子显微术(TEM)分析和X射线衍射分析,发现能量为80keV～100keV、剂量为(1～3)×10~(17)cm~(-2)、束流密度小于7μAcm~(-2)时,注入层发生了显著变化,有Fe_3N新相生成。测试了显微硬度,发现注入试样的显微硬度值有明显提高。对氮离子注入20钢引起的微观结构变化与显微硬度的关系作了讨论。
In this paper, transmission electron microscopy (TEM) and X-ray diffraction (XRD) analysis were performed on 20 steel samples with nitrogen ion implantation. The results showed that the energy was 80keV ~ 100keV and the dose was 1 ~ 3 × 10 ~ 17 cm ~ -2). When the beam current density is less than 7μAcm -2, the injection layer changes significantly, and a new phase of Fe_3N is formed. The microhardness was tested and the microhardness value of the injected sample was found to be significantly increased. The relationship between microstructure changes caused by nitrogen ion implantation and microhardness was discussed.
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