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本文分析了激光微束仪的设计要点,通光孔径的选取,聚焦系统与观察系统的齐焦,微小光斑获得等。激光微束仪的光源是具有多次谐波功能的皮秒Nd~(+3)YAG激光器,工作频率(10PPS),输出能量为50毫焦耳,平均脉宽为30PS的基波序列脉冲,可选波长为1.06μm、0.53μm、0.355μm、0.266μm,谐波晶体用偏硼酸钡(β-BaB_2O_4),简称BBO。