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化学浴沉积技术在常压、低温下通过控制反应物的络合和沉淀，不外加电场或其它能量，即可在经过表面活化处理的衬底上沉积薄膜。本文主要介绍了用化学浴沉积制备无机功能薄膜材料的理论基础、制备方法、成膜机制及应用状况。
用化学浴沉积制备无机功能薄膜材料的研究
【摘 要】
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化学浴沉积技术在常压、低温下通过控制反应物的络合和沉淀，不外加电场或其它能量，即可在经过表面活化处理的衬底上沉积薄膜。本文主要介绍了用化学浴沉积制备无机功能薄膜材料
【机 构】
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北京工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
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功能材料信息
【发表日期】
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2006年1期
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