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改进的低压LEC法生长半绝缘GaAs单晶
改进的低压LEC法生长半绝缘GaAs单晶
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenliquanhao
【摘 要】
:
本文提出了改进的低压LEC/PBN法获得稳定的熔体化学计量比的条件,研究了晶体的电学性质、位错密度、C含量及EL2浓度等特性,并考察了高温热处理对晶体特性的影响.
【作 者】
:
莫培根
范向群
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
GAAS单晶
LEC法
低压
生长
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本文提出了改进的低压LEC/PBN法获得稳定的熔体化学计量比的条件,研究了晶体的电学性质、位错密度、C含量及EL2浓度等特性,并考察了高温热处理对晶体特性的影响.
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