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采用磁控溅射法制备了PST薄膜，讨论了其制备工艺并着重对其电滞回线进行了测试分析。从测试结果来看，其饱和极化强度Ps典型值为19．0μC／cm^2,剩余极化强度为6．6μC／cm^2,矫顽场强为16kV／cm，热释电系数为10^-4量级。表明所制备的PST薄膜具有较好的铁电性能。
（Pb1-x Srx）TiO3铁电薄膜电滞回线的测试分析
【摘 要】
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采用磁控溅射法制备了PST薄膜，讨论了其制备工艺并着重对其电滞回线进行了测试分析。从测试结果来看，其饱和极化强度Ps典型值为19．0μC／cm^2,剩余极化强度为6．6μC／cm^2,矫顽场强为
【机 构】
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南京大学工程管理学院
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2006年3期
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