【摘 要】
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考察了在常压流化床 CVD反应器中利用三异丁基铝的热分解反应在高折射率玻璃微珠表面淀积铝膜时 ,淀积温度和时间对铝膜微结构和表面形貌的影响 .SEM谱的表面形貌分析表明 ,
【机 构】
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中国科学院化工冶金研究所多相反应开放实验室!北京100080;
【基金项目】
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中国科学院化工冶金研究所多项反应开放实验室基金资助
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考察了在常压流化床 CVD反应器中利用三异丁基铝的热分解反应在高折射率玻璃微珠表面淀积铝膜时 ,淀积温度和时间对铝膜微结构和表面形貌的影响 .SEM谱的表面形貌分析表明 ,提高淀积温度时 ,铝膜经过三维岛状→孔洞结构→连续致密膜的变化 ;延长淀积时间 ,铝膜的晶粒会变粗变大 .AES谱的表面化学组成分析表明 ,在较高的淀积温度下铝膜中碳的残留并不明显 ,但发生了玻璃微珠基材中 Ti,Ba等元素向铝膜中的扩散 . Ti的扩散有利于形成连续致密的铝膜
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